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基礎信息Product information
產品名稱：吉時利KEITHLEY電流源/納伏表微小電阻測試
產品型號：6221/2182A
更新時間：2025-06-09
產品簡介：
吉時利KEITHLEY電流源/納伏表微小電阻測試方案應用領域半導體、納米技術、超導、霍爾測量、Delta模式電阻測量、微分電導的測量、脈沖式信號源與電阻、光電應用、脈沖式I-V、低噪聲電阻測量、低功率電阻測量、交流電阻橋的替代器件、鎖定放大器的替代器件、低電平脈沖電氣特性分析、使用四點共線探針確定電阻率和電導率類型
產品特性Product characteristics
吉時利KEITHLEY電流源/納伏表微小電阻測試方案應用領域
半導體
納米技術
超導
霍爾測量
Delta模式電阻測量
微分電導的測量
脈沖式信號源與電阻
光電應用
脈沖式I-V
低噪聲電阻測量
低功率電阻測量
交流電阻橋的替代器件（與2182A聯合使用）
鎖定放大器的替代器件（與2182A聯合使用）
低電平脈沖電氣特性分析（與2182A聯合使用）
使用四點共線探針確定電阻率和電導率類型
吉時利KEITHLEY電流源/納伏表微小電阻測試方案，2182A 型和 6220 或 6221 型可以如同一臺儀器一樣運行。 2182A/622X 組合是電阻測量、脈沖式 I-V 測量和微分電導測量的理想工具，比其他解決方案具有更顯著的優勢。 2182A/622X 組合也非常適合許多納米技術應用，因為它測量電阻時可以不消耗被測器件 (DUT) 的太多功率，否則可能會導致結果無效，甚至損壞 DUT。
特點 | 優勢 |
測量電阻范圍為 10n? 至 100M? | 測量范圍非常廣，專門用于超低電阻測量，以檢定高導電性材料、納米材料和超導材料。 |
同步的電流脈沖源，測量時間短至 50μs | 限制元器件（如納米器件和納米材料）中的功耗，如果以非常低的功率電平進行測試，這些元器件很容易損壞。 |
增量模式電流反向、電阻測量技術 | 通過消除熱偏移影響以及將讀數噪聲降低到 30nV p-p 噪聲（典型值），進行精確的超低電阻測量。 可以對多個讀數進行平均，以更大程度地降低噪聲。 |
微分電導測量 | 比其他電導測量技術的速度快十倍，噪聲更小。 無需平均多次掃描的結果，即可實現準確的測量。 |
納伏表和電流源接口無縫配合 | 進行微分電導和電阻測量時，將這兩臺儀器作為一臺單獨的儀器來運行。 |
增量、微分電導和脈沖模式產生小的電流瞬變 | 可以檢定可易被電流尖峰損壞的設備。 |
型號 | 電壓 | 電阻 | 源 | PC 接口 |
6220/2182A | 1nV-100V | 10n? - 100M? | DC：±10fA – 100mA | RS-232、GPIB |
6221/2182A | 1nV – 100V | 10n? - 100M? | DC：±10fA – 100mA AC：4pAp-p – 200mAp-p | RS-232、GPIB、LAN |
美國吉時利KEITHLEY直流電流源主要技術指標
型號 | 6220 | 6221 |
電流源 | 是 | 是 |
Sink | 是 | 是 |
電流輸出準確度 | 2pA DC | 2pA DC |
(源精度) | 4pA AC | |
電流輸出分辨率 | 100fA DC | 100fA |
(低量程分辨率) | (DC和AC) | |
電流輸出值 | ±105mA | |
功率輸出 | 11W | |
電壓極限 | 105V | |
準確度(±設置):I | 0.05% | |
輸出端口 | 3 Slot Triax | |
以太網 | 無 | 有 |
RS-232 | 有 | 有 |
IEEE-488 | 有 | 有 |
內存 | 65000 pt. | |
電流源防護 | 有 | 有 |
CE | 有 | 有 |
其它 | 配合2182A用于低功率電阻及I-V測量 | 交流和直流電流源。任意波形生成可達100kHz。 |
| 配合2182A用于低功率電阻及I-V測量，增加脈 | |
| 沖式I-V | |
隨機附件 | 237-ALG-2鱷魚夾型低噪聲三同軸電纜2m， | |
8501-2連接622X與2128A的觸發器連接電纜2m， | ||
CA-180-3A以太網雙絞線(僅6221用)， | ||
CAP-351連接2182A與622X之間的通訊電纜， | ||
CS-1195-2安全互鎖接頭， | ||
索取入門手冊(硬拷貝)， | ||
入門手冊， | ||
軟件(可供下載) | ||
美國吉時利KEITHLEY6220直流電流源
6220直流電流源和6221型交流/直流電流源系列，是非常易于使用，且噪聲極低的精密微電流源。微電流的產生在許多研發和產品測量應用中是關鍵的儀器，尤其是在半導體、納米技術和超導等方面?？焖?、高精度和內置的控制功能，使得6220/6221系列成為下列應用的理想選擇，例如霍爾測量、Delta模式電阻測量、脈沖式測量、以及微分電導的測量等。
源和宿電流范圍100fA到100mA
1014Ω的輸出阻抗確保能夠為各種負載提供穩定的電流源
65000點的源存儲容量能夠直接從當前電流源執行全面的測試電流掃描
內置RS-232、GPIB、觸發鏈路和數字I/O接口
可配置的三軸輸出接口，方便帶防護功能的應用需求
能夠仿真早期的220型電流源，對已有應用不需重寫程序代碼
美國吉時利KEITHLEY6221交流和直流電流源
源和宿電流范圍100fA到100mA
10e14Ω的輸出阻抗確保能夠為各種負載提供穩定的電流源
65000點的源存儲容量能夠直接從當前電流源執行全面的測試電流掃描
內置RS-232、GPIB、觸發鏈路和數字I/O接口
可配置的三軸輸出接口，方便帶防護功能的應用需求
能夠仿真早期的220型電流源，對已有應用不需重寫程序代碼 能夠為各種元件和材料的交流特征分析提供2pA到100mA的交流電流源
6221的10MHz輸出更新速率能夠產生 100KHz的光滑正弦波
內置標準和任意波形發生器，頻率范圍1mHz到100kHz。應用領域包括復雜可編程負載或敏感信號以及噪聲仿真
短至5µs的可編程脈寬，能夠限制精密元件的功耗。當與2182A納伏計聯合使用時能夠測量短50µs的脈沖I-V
內置以太網接口，不需GPIB控制卡即可輕松實現遠程控制
美國吉時利KEITHLEY電流源標配件
237-ALG-2型低噪聲三同軸輸入電纜，一端接3槽公三同軸連接器另一端接3個鱷魚夾，長度為2米（6.6 ft），（適用于236、237、238、486、487、6514、6517A）
8501-2型DIN至DIN觸發連接電纜，長度為2米（6.6 ft），（適用于6517A、2400系列、KPC-TM、觸發連接輸入）
CA-180-3A型TSP-Link電纜
美國吉時利KEITHLEY電流源可選配件
7006-1型GPIB單層屏蔽電纜，一端直通，一端直接連接頭，長度1米（3.3ft）
7006-2：GPIB單層屏蔽電纜，一端直通，一端直接連接頭。長度2米（6.6ft）
7078-TRX -5型低噪聲三同軸電纜，長度為1.5米（5 ft），（適用于236、237、238、6514、6517A、7072）
7007-1：雙層屏蔽高級GPIB接口電纜，長度1米（3.3ft）（用于GPIB互連）
7007-2：雙層屏蔽高級GPIB接口電纜，長度2米（6.6ft）（用于GPIB互連）
KPCI-488LPA，KPCI-488LPA型 IEEE-488.2 PCI Bus 插件板
KUSB-488A型IEEE-488.2 USB-GPIB接口適配器，適用于USB接口，內置2米（6.6ft）電纜
美國吉時利KEITHLEY2182A納伏表
雙通道2182A納伏表用于需要穩定、低噪聲電壓和溫度測量的應用。是可靠地、重復地表征低阻材料和器件特性的儀表，并且比其他的低電壓測量方案能提供更快的測量速度及更好的噪聲性能。
快速且極低噪聲，15nVP-P 噪聲@1s 響應時間，40-50nV p-p噪聲@60s 響應時間
Delta模式測量，配合程控電流源反轉極性進行低阻測試，可達24Hz和30nV P-P噪聲，多次讀數平均還可進一步降低噪聲
與電源同步技術可提供110dB的串模抑制 (NMRR) ，將AC共模電流的影響減至小
雙通道輸入，可測量電壓、溫度或未知電阻與參考電阻的比例
內置熱電偶線性化和冷端補償功能
美國吉時利KEITHLEY2182A納伏表配件
2107-4型低熱輸入電纜，一端接雷莫接頭另一端接4個銅叉片，長度為1.2米（4 ft），（適用于2182）
美國吉時利KEITHLEY2182A納伏表可選配件
2107-30型低熱輸入電纜，一端接雷莫接頭另一端接4個銅叉片，長度為9.1米（30 ft），（適用于2182）
2187-4型輸入電纜，帶安全香蕉插頭
2188型低熱校準短路插頭（適用于2182）
4288-1型單機架安裝套件（適用于428、486、487、776、2700、2000系列、2182、2300 系列、2400系列、2500系列、6514、6517A、7001、6430、6485）
4288-2型雙機架安裝套件（適用于428、486、487、776、2000系列、2182、2300 系列、2400系列、6514、6517A、7001、2700、6430、6485）
7007-1：雙層屏蔽高級GPIB接口電纜，長度1米（3.3ft）（用于GPIB互連）
7007-2：雙層屏蔽高級GPIB接口電纜，長度2米（6.6ft）（用于GPIB互連）
7009-5型屏蔽RS-232電纜，長度為1.5米（5 ft）（適用于2000、2010、6517A、2400系列）
8501-1型DIN至DIN觸發連接電纜，長度為1米（3.3 ft），（適用于6517A、2400系列、KPC-TM、觸發連接輸入）
8501-2型DIN至DIN觸發連接電纜，長度為2米（6.6 ft），（適用于6517A、2400系列、KPC-TM、觸發連接輸入）
8503型DIN至雙BNC觸發連接電纜，長度為1米（3.3 ft），（適用于2000、2010、2400系列、觸發連接輸入）
2182-KIT型低熱（雷莫）連接器，帶電線出口（適用于2182）
KPCI-488LPA，KPCI-488LPA型 IEEE-488.2 PCI Bus 插件板
KUSB-488A型IEEE-488.2 USB-GPIB接口適配器，適用于USB接口，內置2米（6.6ft）電纜
